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NEWS INFORMATION低噪音磁力泵在半導體行業的應用案例:從晶圓清洗到CMP的靜音防線
2026-04-26 低噪音磁力泵憑借其全封閉式磁力耦合傳動與極低振動噪聲的特性,已成為半導體制造(Fab)廠中高純化學品與超純水輸送的標準配置。其核心價值在于消除了機械密封帶來的泄漏風險與顆粒污染,同時通過低噪音設計滿足潔凈廠房對環境靜音的要求。以下是其在半導體關鍵制程中的典型應用案例解析。一、晶圓濕法清洗與刻蝕工藝:強腐蝕性藥液的“隱形衛士”在晶圓制造的濕法清洗、刻蝕及去膠工序中,介質多為高純電子級酸堿,具有較強的腐蝕性與危險性。應用案例:刻蝕液循環輸送系統在濕法刻蝕設備中,低噪音磁力泵被用于...